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| 产品名称： | HAD-SGC-1A 椭圆偏振测厚仪 |
| 产品型号： | HAD-SGC-1A |
| 品牌： | 663 |
| 产品数量： | |
| 产品单价： | 面议 |
| 日期: | 2020-06-12 |
HAD-SGC-1A 椭圆偏振测厚仪 的详细资料
椭圆偏振测厚仪 椭圆测厚仪 型号：HAD-SGC-1A
指标：
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编号 |
名称 |
参数 |
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1 |
测量范围 |
1nm-300nm |
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2 |
测量zui小值 |
≤1nm |
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3 |
入射角 |
30°～90°误差≤0.1° |
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4 |
偏振器方位角读数范围 |
0°～180° |
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5 |
度盘刻度 |
每格2度 |
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6 |
游标zui小读数 |
0.05° |
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7 |
光学中心高度 |
152mm |
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8 |
工作台直径 |
φ70mm |
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9 |
外形尺寸 |
730mm×230mm×290mm |
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10 |
主机重量 |
20kg |
北京恒奥德有限公司
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