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| 产品名称： | 电子薄膜应力分布测试仪 型号：BGS-6341 |
| 产品型号： | BGS-6341 |
| 品牌： | 663 |
| 产品数量： | |
| 产品单价： | 面议 |
| 日期: | 2018-12-26 |
电子薄膜应力分布测试仪 型号：BGS-6341的详细资料
电子薄膜应力分布测试仪 型号：BGS-6341
该产品主要应用在微电子、光电子线上和科研、教学等领域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、 基片曲率
半径测量测试。该仪器总测量点数多, 能给出场面型分布结果, 适合于微电子线上产量的快速检验和微电子研究。
仪器基于干涉计量的场测试原理, 可实时观测面型的分布, 迅速了解被测样品的形貌及应力集中位置, 及时淘汰早期失效产品。 创的错位相移 |
| 计算机自动条纹处理 |
| 测试过程自动 |
| 的曲面补偿测试原理 |
| ≤100mm (4英寸) | |
| |R|≥5米 | |
| 5% | |
| 3分钟/片 | |
| 面形、曲率半径、应力分布、公式表示、数据表格 | |
| 三维立体显示、二维伪彩色显示、单截面曲线显示 | |
| AC 220V±10%, 50Hz±5% | |
| 100W | |
| 285mm×680mm×450mm | |
| 36kg |
北京恒奥德有限公司
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