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流量控制器 HAD-D07-7B
发布时间2014-03-19 浏览次数：992
流量控制器 型号；HAD-D07-7B
HAD-D07-7B型 流量控制器
仪器简介：
流量控制器（MFC）用于对气体的流量进行地测量和控制。用于电子设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
参数：
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满量程流量范围（N2） |
5SCCM～10SLM |
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控制范围 |
2～100％F.S. |
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阀类型（及阀初始状态） |
电磁调节阀（常闭） |
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度 |
±1.5％F.S. |
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线性 |
±0.5～1.5％F.S. |
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重复度 |
±0.2％F.S. |
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响应时间 |
≤7sec |
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工作温度范围 |
5～45℃ |
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工作压差 |
0.1～0.5MPa |
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耐压 |
3MPa |
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漏气率 |
1×10-8atm.cc/sec He |
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密封材料 |
氟橡胶（或氯丁橡胶） |
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电插头形式 |
DB15 pin（Female） |
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接头选择 |
VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose |
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重量 |
1.1Kg |
